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ਫú ● 本报记者 吴科任ਗ਼
半导体设备公司面临“幸福的烦恼”。芯片制造厂纷纷扩产，设备公司订单增多。但受全球供应链紧张及疫情影响，零部件交付周期一再延长，导致半导体设备交付难度加大。“海外零部件厂商⌉会优先保障本地设备厂商，国内设备厂લ商只能想办法多下订单，争取多拿一些货。”半导体设备产业资深人士李明（化名）告诉中国证券报记者。
▥ 订憨单饱à满
“目前公⇒司在手订单较为充足，生产经营正常，预计上半ⓐ年业绩将保持增长。ઐ”北方华创副总裁、董秘王晓宁近日表示。
北方华创是国内综合半导体设备龙头企业，产品主要服务于国内主ੋ流半导体企业的成熟制程。2021年年底，公司合Ð同⇒负债增至50.46亿元，较期初增长66%。
国内刻蚀机设备ο龙头中微公司2021年新签订单41.3亿元∪，同比增长90.5%。公司的CCP刻蚀设备已批量应用于国内外一线客户的集成电路生产线。
今年一季度，万业企业控股子公司凯世࠹通累计新增集成电路设备订单超6.8℘0亿元，包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入机。离子注入机为集成电路ⓘ前道四大核心设备之一，研制难度极大，长期被海外设备厂商垄断。
“公司产品需求强劲，二季度和三季度的ત产♩能已排满，四季度及明年一季度的产能也很紧俏。”国内清洗设备龙头盛美上海近期表示。公司合同负债从2021年年初的0.86亿元增至2022年一季度末的4.43亿元。
目前，拓荆科技在手订单饱满，公司合同负债已从2021年年初的1.34亿元增至2022年一季度末的7É.∫80亿元。拓荆科技是国内唯一一家产业化应用⇑的集成电路PECVD、SACVD设备厂商。
全球半导体短缺和芯片制造厂的持续投资，刺激半导体设备ξ行业加快发展。国际半导体产业协会预计，2022年全球晶圆设备支出将再创新高至1070亿美元，同比增长≥18%。Í
“国内晶圆厂和存储厂采û购本土设备的趋势∗明显，国内半导体设备公司业绩增长确定性高。”某头部券商电子行业首席分析师表示。ਬ
ãÚ 交付延迟
Ç 供应紧张蔓延到零部件端。全球半导体设备龙Ü头企业应用材料相关负责人近日表示，由于零部件供应延迟，应用材料2022财年第二季度的销售额减少了1.5亿美元。
李明说，“海外零部件厂商供应延迟既有疫情因素，也有‘缺芯’带来的连锁反应。开关、控制器等零部件也需要芯片，芯片短缺会影Î响到零部件的交付。同时，部分零部件厂࠹商不急于扩大产能，因为担心未来产能过剩。即使扩产，也需要一定时间，同ï时会面临人工短缺等问题。”
中国证券报记者获悉，半导体设备零部件交付周期普遍延长，∈短则数月，长则半年以上。盛美上海表示，“海外零部件的采购以及向海外发货都受到疫情影响。随着复工复产的推进，预计后续影响⊇会逐步减小。”
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