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ϑ晶盛机电周末通过其微信公众号透露,公司成功研发了8英寸导电型SiC(碳化硅)晶体,晶盛第三代半导体材料ϖSiC研ÿ发自此迈入8英寸时代。消息披露后,晶盛机电8月15日开盘后股价持续走高,收盘涨幅12%。
多位采访对象告诉记者,今年以来,我国SiC行业喜▨讯连连,包括扩建厂房、接ϑ大订单、尺寸越做越大……汽车等下游用户缺芯问题或能缓解。
8µ英寸ΓSiC研发新≠突破
晶盛机电透露,此次研发成功的8英寸SiC晶体,厚度25mm,直径214mm,是大▥尺寸的重大突破。此次不但成功解决了8英寸SiC晶体生长过程中温ⓛ场不均、晶体开ο裂、气相原料分布等难点问题,同时还破解了SiC器件成本中衬底占比过高的难题,为大尺寸SiC衬底广泛应用打下基础。
消息发布后അ,∂8月15日,晶盛机电股价大涨Ã。
SiC具有“高硬度、高脆性、低断裂韧性”特性,晶体生长过程中很容易发生开裂等问题。相关设备供应商邑文科技副总经理叶国光接受上证报采访时表示,“晶盛ળ机电能成功研发8英寸S∫iC晶体,是一个很大突破。ૌ”
民生证券机械行业首席分析师李哲接Τ受采访时表示,SiਫC晶体生长是采用升华法,制造效率੍、尺寸瓶颈明显。晶盛机电研发出8寸片,表明其制造工艺水平已到国内先进水平。
SiC器件具有耐高温、耐高压、高频特੪性好、转化效率å高、体积小和重量轻等优点,其中导电型SiC一般用于做电力电子器件,被广泛应用于新能源汽车、轨道交通、光伏、5«G通讯等领域。
ⓑ 晶ો盛机电证券部门人士透露,目前该项技术是实验室阶段的研发成果,到量产还有很长的一个过程。后续会根据工艺成熟度,送样给下◘游客户试用。
邑文科技副总经理叶国光则表示,上述研究成果没有披露关键的材料缺陷数据,而这一数据决定了它能做¡简单器件还是♣高端器件>,因而无法做出更深的评价。
晶盛机电主营业务是光伏和半ૡ导体领域的晶体生长及加工设备、蓝宝石材料和碳化硅材料的研发、生产和销售。公司通过自主开发的设备、热场和工艺技术,不断延伸产品系列。2017年,公司开始布局SiC业务,2020年建立长晶和加工中试线,做出来的SiC晶体直径也从最初的4英寸增大到അ如今的8英寸š。
民生证券李哲表示,晶盛机电掌握先进晶体生长工艺,已经在光伏及半导体硅片、蓝宝石等领域证明了自身技术实力。它又较早地−推出了SiC的6寸、8寸片,布局较为前瞻。预计未来两年,其SiC设备及૮衬底、外延片有望逐步出货,成为公司新的增长极。
– 中国6英寸SiC开始量产
SiC是功μ率器件的优质衬底材料。随着光伏、锂电需求日益增长,其需求也处于高速增Ċc;长期。因而各国都非常重视SiC产业的商业化。
海外方面,目前Wolfspeed已投入10亿美元建新工厂,并在今年4月开始生产8英寸SiC等产品;罗姆旗下SiCrystal预计2023年左右开始量产8¤英寸SiC衬底;Soitec在今年3月启动了新晶圆厂ψ建设计划,并在5月发布了8英寸碳化硅衬底产品。
我国8英寸SiC材料还在研发阶段,尚未ਜ量产。此次晶盛机电报喜之前,烁科晶体、中科院物理Āf;所等企业和单位也成功研发了8英寸Si⌉C单晶。
集邦咨询化合物半导体分析师ê龚瑞骄表示,8英寸是降低Sid3;C功率元件成本的重要途径,被业界给予高度关¤注。目前全球不少SiC衬底厂商相继推出了相关样品,但仅有美国Wolfspeed一家步入量产。
民生♦证券李哲认⊗为,我国SiC4/6寸片已在量À产中,8寸片产业化预计仍需要时间。
我国6英寸的SiC材料已经步入量产阶段。天岳先进前不久披露,2023年至2025 年,公司及公司全资子公司上海天岳半导体材料有限Η公司将向合同对方销售6 英寸导电型碳化硅衬底产ત品,合计金额为13.93亿元。该金额约为天岳先进2021年营业收入的2.8倍。这意味着中国导电型SiC衬底产业驶入快车道。汽车等下游用ࢵ户也可以吃下“定心丸”,相关产品产能供应问题或将得到缓解。
晶盛机电6英寸SiC产品也在快速量产。今年3月,公司在宁夏开工建设了一期年产40万片6英寸以上…的导σ电型、绝缘型SiC衬底产能。另外据透露,他们获得了意向SiC衬底订单,3年内将优先向客户提供SiC衬底合计不低于23万片。ਬ
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