别乱猜华为在研发光刻技术 申请过一个专利是2016年的事情了|光刻机_新浪科技_新浪网

发布日期:2022-11-27 14:32:16

运营商财经 康ⓚ钊/੢છ文

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近日,华为的一项专利被曝光ϒ,业内惊讶地发现,这实际上是一种EUV光刻技术,这似乎意味着华为居然在研ç发EUV光刻技术,但实际不是那么回事。

华为最近被曝光的光刻技术专利并非现在申请的,而是2016年已经在૞国际上申请PCT专利ઠ申请,名称是光刻设备和光刻系统。2020年,此事就已经曝光过一回,没想到最近又有人拿来炒一回,实际上是旧闻了。κ

而且,2016年的时候美国还没开始打压华为,说明Ê华为很有眼光,早就看出ઘñ光刻机是中国芯片的短板,因为自己也着手研发。

中国企业研究光刻技术&#25bc;并不稀奇,中国上世纪6ⓚ0年代就曾布局光刻机技术,1961年我国就启动了集成电路课题研究组,专攻晶体集成电路的技术⇐。1966年,中国第一台光刻机研制成功,可以生产硅圆片。

1972年,武汉Κ三厂ⓤ编拟工业生产指南“光ઞ刻掩版制造“。

1977年,中国科学院ણ化学研究所光致抗蚀剂研究小组编制《光刻&#263c;胶》作为&#256d;行业资料。

1980年,清华大学研制成功的第四 代光刻机,精度⁄达到3微ⓣ米,接近国际主流光刻机水平。

华为光有这么点光刻઼技术专利是远远π不够的,光刻机Ö就认为有10万个零部件,比登天还难。

据介绍,ા华为的这项专利发明的核心内容,是­提供了一种反射镜、光刻装置及其控制方法,能够解决相干光icon因形成μ固定的干涉图样而无法匀光的问题,

而且,华为研制的光刻设备可以在不改变ⓥ光刻设备与基板的相对位置的情况下制备所需的ý图案,从而避免了平移步骤和对准步骤,从而提高了处理效率૎以及在基板上的形成。

但这还只是原理,੊离实际制造光刻∨机″还是相差太远了。

大家不要炒作华为在研发光刻技术,这个事情还早着呢,也需要国内产੉业界共同携手才行。华为早在2016年就申请过专利,如果这种专利就能做出高端光刻机来,那中国现在也就不缺高端光刻机了。光刻机非常复÷杂º,一两个专利也没啥用。

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