国内首款完全自主可控OPC软件出炉|光刻|芯片|软件_新浪科技_新浪网

本报讯 近日，华中科技大学刘世元团队成功研发出国内首款完全自主可控、可用于ë芯片制造的OPC软件，并实现成果转化和产业੟化ⓕ，填补了国内在此方面的空白。

　　据介绍，光刻☻是芯片制造中最为关键的一种工艺，通过光刻成像系统，将设计好的图形转移到硅片上。随着芯片尺寸不断缩小，硅片上的曝光图形会产生畸变。在90nm甚至੥180nm以下芯片的光刻制造前，都必须采用一类名为OPC（光学邻近校正）的算法软件进行优化。据悉，如果没有OPC，所有IC&#263b;制造厂商将失去把芯片设计转化为芯片产品的能力。目前，全球OPC工具软件市场完全由Synopsys、Mentor、ASML-Brion 3家美国公司占领。

　　刘世元表示，从基础研究∗到产业化应用，团队整整走了十年，十年磨一剑，“就是要解决芯片从设计⌉到制造δ的卡脖子问题”。

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